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  • 優恩半導體TVS管工藝介紹
    2016-06-07 09:14:29

    優恩半導體TVS管工藝介紹:

    1.原矽片,放進擴散爐進行退火,這主要是防止矽片碎片。

    2.一次光刻!這個主要是把圓圓的矽片蝕刻出小方片!如果是剛從擴散爐拿出的矽片,不用進行一號液的清洗!(一號液配比:氨水:過氧化氫:水=1:1:5,反正大約就是這個數啦!水要放到加熱板進行加熱,加熱到大約85℃左右)然後把矽片放到145℃烘箱烘烤大約40分鐘,使其表面乾燥,不存水分!接下來是塗膠,塗膠機轉速:塗膠500轉5秒;2450轉15秒。當然了,這個轉速要根據室溫來進行調節的,如果保持恒溫25℃,基本不用調!

    接下來是軟烘,當然是把矽片上的膠給烘乾啦!95℃烘箱烘烤個30分鐘就可以了

    曝光:主要是在塗了膠的矽片上刻出影子!曝光一般在20秒左右

    顯影和定影:時間大約在1分+1分+35秒+35秒。顯影液和定影液都要放2瓶。

    吹幹,然後就是堅膜,放到145℃烘箱40分鐘。

    3.接下來就是格子刻蝕咯!這個地方最危險了!以前我的徒弟把手和胳膊腐蝕掉了好幾層皮!

    採用5:3:3即硝酸:氫氟酸:冰醋酸=5:3:3!如果片子表面有氧化膜的情況下,當然是要先把片子放到 30-40℃ BOE裏面浸泡大約1分鐘到2分鐘,視情況而定,片子表面脫水即可!

    混酸的溫度大約是-2℃左右!視開溝的深度而定,一般片子的結深大約在40μm左右,開溝一般在70μm,如果是雙向開溝,開的深啦,片子就會開穿啦,呵呵,倒是省下劃片了!

    4..當然是塗玻璃咯!這個很簡單,玻璃粉的配比是:忘了!呵呵,然後是燒玻璃

    5.二次光刻!這和一次光刻基本一樣,只是二次光刻的目的是保護節點的!

    6.鍍鎳,哎,這個倒是忘了,我也沒去小趙同學那兒多看點!

    7.劃片,靠,老張同志的HP-600A型劃片機,很快!可以說劃片是整個流程中最乾淨,最安全的環節!也是最沒有技術含量的!

    8.TVS管後端封裝!